Структурные свойства ионно-имплантированных полупроводников широко исследованы различными группами с помощью таких методов исследования, как дифракция медленных электронов, фотоэлектронная спектроскопия, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия электронная оже – спектроскопия, просвечивающая элек...