Как известно, в кремнии, легированным элементом переходных групп, в частности железом,
наблюдается ряд физических явлений, представляющих научный и практический интерес [1, 3].
Получения тонких слоёв имплантированных атомов в приповерхностной области Si с заданными
электрофизическими свойствами и определенной толщиной важно, в частности, для технологий создания
различных датчиков и приборов высокой чувствительности. Наиболее интересными в этой области являются
введение примесей элементов переходных групп, в частности железа. С технологической точки зрения создать
тонкие слои в кремнии с ограниченной глубиной и достаточной концентрацией диффузным методом
невозможно из-за большого значения коэффициента диффузии этих элементов. Поэтому прибегают к методу
ионно-лучевого легирования.
Так как примеси Fe в Si могут находиться как в узлах, так и междоузлиях кристаллической решётки и
взаимодействовать с дефектами решётки, то распределение их при ионной имплантации и механизм их
активации представляют определённый интерес. Однако в литературе практически отсутствуют работы,
посвящённые ионной имплантации и исследованию профиля распределения по глубине железа в кремнии.
Целью настоящих исследований является изучение профилей распределения имплантированных
атомов железа в кремнии в зависимости от дозы облучения и температуры отжига.