Т-ионлар киришмалари билан легирланган монокристаллик кремнийнинг нуқсонли структурасини ҳосил бўлиш ва ривожланиш жараёнларини ҳамда чуқур марказлар ҳосил бўлиши жараёнига технологик, ноёб ер элементлари ва изовалент киришмаларнинг таъсирини аниқлашдан иборат.