Малакавий битирув иши юкори частотали магнетрон чанглатиш методи билан олинган рух оксиди плёнкаларининг электрофизик параметрларига, чеккага якин фотолюминесценция спектрларининг кўринишига анион панжарасига киритилган газ киришмасининг ёки катион панжарачасига киритилган металл киришмаси таъсирининг эффективлигини чоп этилган илмий ишлар асосида бахолаш ва тахлил килиб чикишга бағишланган.