Структура термоэлектрических пленок высшего силицида марганца на кремнии по данными электронной микроскопии

Структура термоэлектрических пленок высшего силицида марганца на кремнии по данными электронной микроскопии
Daraja:
Oliy ta`lim
Turi:
Maqola
Til:
Rus tilida
Yaratilgan vaqti:
2021-04-20 00:31:52
Проведен сравнительный анализ структурных особенностей пленок высшего силицида марганца, выращенных методом диффузионного легирования монокристаллических подложек кремния парами марганца в запаянной ампуле и проточном кварцевом реакторе при постоянной откачке. Методами растровой электронно-ионной микроскопии и высокоразрешающей просвечивающей электронной микроскопии показано, что в откаченной ампуле формируется однофазная текстурированная пленка высшего силицида марганца. Изменение условий роста со стационарных (ампула) на квазистационарные (реактор) приводит к формированию поликристаллических островков высшего силицида марганца с наноразмерными включениями фазы моносилицида марганца.

Дабавлено : 2021-04-20 00:31:52

Этот категорий

Pythonda matematik hisoblashlarni dasturlash

Nazariy mexanika

Nazariy mexanika

Fundamentals of scientific research and innovation

Oila tibbiyoti

Новый

Жиззах вилоятида туристик дестинацияларни ташкил этишнинг ҳудудий жиҳатлари

Таълим муассасаси раҳбарининг бошқарув фаолиятида соғлом ва ижодий муҳитни яратиш механизмларини такомиллаштириш

Ишлаб чиқариш таълими усталарининг касбий компетентлигини ривожлантириш

Eliptik qismi yuqori tartibli bo`lgan kasr tartibli xususiy hosilali differensial tenglamalar uchun to`g`ri va teskari masalalar

Саноат корхоналари ривожланишининг инновацион стратегияларини такомиллаштириш