Одно из перспективных направлений опто-, микро- и наноэлектроники – создание на поверхности полупроводниковых материалов нанопленок и отдельных нанокристаллических фаз [1 – 3]. При этом немаловажное значение имеют однотипность и близость параметров кристаллической решетки матрицы и наноматериала, что в определенных условиях дает возможность получить однородные и регулярно расположенные на поверхности нанокристаллические фазы.