В работе разработан селективный метод полупроводникового определения этанола, основанный на использовании чувствительных элементов сенсоров, содержащих полупроводниковых оксидов металлов. Разработанные высокоселективные полупроводниковые сенсоры обеспечивают определение паров этанола в выдыхаемом человеком воздухе и технологических газовых смесях в широких диапазонах его концентрации. Изучено влияние различных факторов на метрологические, эксплуатационные и другие характеристики полупроводникового сенсора этанола.